半导体行业专用
椿本商品
可针对要求低发尘性、高精度等的半导体制造装置进行商品提案。
交货
机器人搬运
晶片输送机器人
采用用途
机器人手臂的驱动，机器人的运行
要求行驶时的高停止位置精度、高速性、低发尘性。
电缆拖链
根据使用环境推荐低尘商品。
TKP型MW规格
这种高性能电缆拖链采用“特殊的高滑动性材料”，可提高电缆和管道的保护性能，并减少灰尘产生。
POINT
低尘、高通用性
TKR型
通过帽檐独特的弯曲结构，实现了低发尘、低噪音、低振动。
POINT
- 清洁度ISO等级3 (公司内部试验结果)
- 静音性
动力锁联轴器
不锈钢规格
无电解镀镍规格
丰富的产品阵容和可靠的质量，满足您的环境需求
POINT
清洁、耐腐蚀性、高通用性
同步带
超级PX同步带 HC规格
超级PX同步带 HY规格
追求高精度、高强度的传动带
这款传动带的设计旨在实现更高的精度和强度，从而有助于打造更紧凑的设备。它能最大限度地减少磨损粉的飞溅，确保清洁运行。此外，我们还提供强度和刚度更高的HY规格。
POINT
高精度、高速度
滑轮
止动带轮镀层
这是一款集成无键紧固件的同步带轮。通过对各部件进行表面处理，提高了耐腐蚀性，并实现了无需润滑油的干式紧固。
POINT
紧固零间隙，轻松采购
清洁输送系统
天花板搬运系统
Autran Vanguard
在天花板空间实现清洁运输
重物运输(max.200kg)，集电部不产生灰尘 (非接触供电)，直接运输到制造设备。通过安装清洁单元，可以保持工件的高清洁度。
POINT
集电部不产生灰尘，搬运重物 (最大200kg)
升降
AMR滚轮传送
通过在AGV和AMR上的升降机构中采用Zip Chain传动装置，有助于实现低台面化。
POINT
节省空间、低台面设计
Zip Chain系列
Zip Chain传动装置
一种用途广泛的直线作动机，即使在狭小的空间内也能安装。
节省空间，可对应高速、高频率运行，与油、空压气缸相比，可大幅削减耗电量。可进行高精度多点停止，安装方向自由。
AMR升降
液压升降机、钢丝绳式
停止精度低，升降机和地面之间产生台阶
杆式螺钉
难以实现长行程
链式作动机为您解决升降难题！
POINT
- 高精度:减少换乘时的落差
- 更快:缩短节拍时间
- 高扬程:最高可达4m
Zip Chain系列
链式作动机
采用Zip Chain式“置放定位”机构、可高速升降的悬臂式升降机
它采用“放置型”设计，只需放置即可使用，其高速、高频率和高提升力使其适用于各种用途。
盖开关机构
Lift Master用于升降设备盖。我们还可以提供一种结构，允许手动旋转支撑盖的机械臂。
POINT
安装操作简单，清洁无漏油
悬臂式升降机
Lift Master
采用滚珠丝杆/梯形螺杆悬臂式升降器，可实现高精度多级定位
“放置型”设计使得生产线布局灵活，操作简便。电气化改善了工作环境，并有助于节能。
清洁支持
可减少各部件产生的灰尘。
- 特殊表面处理（滚珠丝杆导向）
- 不锈钢护罩
- 清洁润滑脂涂抹（滚珠丝杆导轨）
- 烤漆
滚轮垂直循环输送
在吊装设备的提升段，环形吊架之间采用Lambda链条。由于无需外部供油，因此减少了设备维护工作量，并通过抑制油溅，有助于实现清洁的工作环境。
POINT
- 减少维护工时
- 保持清洁环境
免加油传动链
Lambda链条
采用特殊含油套筒免加油链条
它采用特殊含油套筒，具有自润滑性能，免加油即可长期使用。
旋转传动
晶圆研磨设备
许多应用实例表明，环面蜗杆减速机能够最大限度地减少旋转波动，从而驱动表面板旋转。此外，还使用了传动皮带、皮带轮以及用于驱动电刷的减速机。
采用点
高传输容量
紧凑型
旋转不均匀性小
检查装置的反转机构
在晶圆探针台的翻转机构中采用了环面蜗杆减速机。
此外，晶圆载台的移动部位还采用了电缆拖链、同步带及同步带轮等产品。
采用点
高强度&轻量・紧凑
自锁性、安静性
减速机
环面蜗杆减速机
高性能蜗轮减速机
更薄更小，传输容量更高
即使接地面积有限，它也比其他公司生产的通用蜗轮减速机具有更高的传动能力。
低振动
采用滑动接触传动的蜗轮蜗杆，与使用滚动传动斜齿轮、锥齿轮的其他减速机相比，振动更低，因此能够提升最终产品的加工质量。
角度传动误差（回转不均）小
与斜齿轮、锥齿轮等减速机构相比，其角度传递误差约为1/10，因此能够实现平稳旋转，提升最终产品的加工质量。
小型齿轮减速电机
这是一款结构紧凑、易于使用且高效的减速机。我们可以根据您的应用需求，推荐最佳的电机、轴配置（平行/直交轴）和输出轴形状（实心/空心）。
Zip Chain系列
Zip Chain传动装置
中号和大号
POINT
推力MAX38.2kN
行程MAX5000mm
速度MAX1000mm/s
即使在狭小的空间内也能安装，
多功能直线作动机
高速&高频度运转、卓越的停止精度与控制性、紧凑性兼备的桥梁独自的直线发动机。
同步带和皮带轮
非常适合需要精确定位和高同步性的应用
椿本同步带能够高频、高速运转，并且使用寿命长。
请与原装皮带轮配合使用，以充分发挥PX同步带的高强度、高拉伸性能。
DCBL 无刷准双曲面电机
这是一款可靠的电机，它结合了变频器驱动和伺服电机的优点。
通过内置温度传感器，实现了马达的烧毁保护。
TERUS系列
还可以将蜗轮减速机与齿轮电机组合使用。这是一款兼具蜗轮蜗杆的高强度与齿轮电机高效率特点的高性能齿轮电机。 可实现设备的小型化，并减少零部件数量。
了解有关TERUS系列的更多信息
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支持、引导、保护
电缆支撑引导是否存在此类问题?
来自电缆拖链（包括同类产品）
- 希望减少因磨损粉粘附而导致的产品缺陷
- 我想节省空间
- 更好地保护缆线管
从扁平电缆管
- 减少电缆软管弯曲
- 我想抑制弹跳
CLEANVEYOR和FLATVEYOR可以解决各种各样的问题。
移动舞台
在舞台移动部分的电缆支撑与导向装置中，采用了FLATVEYOR。
采用装置
曝光机、键合机、贴片机等
采用点
低扬尘、低振动、防断线
晶圆盒的转移
用于药液槽间的移载电缆的支撑导向。
通过支撑构件可实现长行程化。
采用装置
清洗装置
采用点
低粉尘产生，长行程
CLEANVEYOR
清洁度ISO等级1
椿本电缆・软管支撑导向装置中，发尘量最低。
实现ISO等级1的清洁度，最适合在洁净室内使用。
36dB (A) 以下的低噪音与弯曲次数1000万次以上※的长寿命。*内部测试结果
低尘
将电缆、管道和支撑部件存放在舱内，可以防止磨损粉散落。
它还能有效防止因电缆滑动或相互干扰而导致的电缆断裂风险。
减少安装工时
内置专用的电缆和管子，安装夹具提供。可以顺利地安装到装置上。
多级结构对应
最多可装6层※可对应。*内部测试结果
关于CLEANVEYOR更多详情
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FLATVEYOR
清洁度ISO等级2
椿本独有的自立式扁平电缆系统。
它内置独特的支撑结构，使其能够进行长行程操作。根据使用条件的不同，它配备专用电缆和导管。
低尘
为提高产品的成品率做贡献。
长行程
最大行程可对应2.8m。
(ZP规格最长1.8m)
扁平电缆 (第三方)
FLATVEYOR（椿本制造）
断线对策
最多可装6层※可对应。*内部测试结果
弹跳抑制
防止设备外围设备与电缆发生干扰。
扁平电缆 (第三方)
FLATVEYOR（椿本制造）
关于FLATVEYOR的更多信息
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FLATVEYOR ZP 规格
易于使用
- 电缆、软管易于装入和取出，并可进行局部更换。采用椿本独有的开闭式软管，具有良好的弯曲性、耐久性和滑动性能。
- 实现了清洁度相当于ISO 2级。(根据本公司内部试验结果)
电缆拖链 塑料系列
PVDF规格
真空用途
通过使用特殊氟树脂，可有效应对真空环境下的排气。
另外，还具有优异的耐药性。
有关电缆拖链塑料系列PVDF规格的更多信息
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