半导体行业专用
帽檐商品
可针对要求低发尘性、高精度等的半导体制造装置进行商品提案。
交货
机器人搬运
晶片输送机器人
采用用途
机器人手臂的驱动，机器人的运行
要求行驶时的高停止位置精度、高速性、低发尘性。
电缆拖链
根据使用环境推荐低尘商品。
TKP型MW规格
这种高性能电缆拖链采用“特殊的高滑动性材料”，可提高电缆和管道的保护性能，并减少灰尘产生。
POINT
低尘、高通用性
TKR型
通过帽檐独特的弯曲结构，实现了低发尘、低噪音、低振动。
POINT
- 清洁度ISO等级3 (公司内部试验结果)
- 静音性
动力锁联轴器
不锈钢规格
无电解镀镍规格
丰富的产品阵容和可靠的质量，满足您的环境需求
POINT
清洁、耐腐蚀性、高通用性
同步带
超级PX同步带 HC规格
超级PX同步带 HY规格
追求高精度、高强度的传动带
这款传动带的设计旨在实现更高的精度和强度，从而有助于打造更紧凑的设备。它能最大限度地减少磨损粉的飞溅，确保清洁运行。此外，我们还提供强度和刚度更高的HY规格。
POINT
高精度、高速度
滑轮
止动带轮镀层
这是同步带轮。各部件的表面处理提高了耐腐蚀性，并可实现无需润滑的干式紧固。
POINT
签订零折扣、简单安排
清洁输送系统
天花板搬运系统
Autran Vanguard
在天花板空间实现清洁运输
重物输送(max.200kg)、从集电部产生的灰尘为零 (非接触供电)、直接输送到制造装置。通过安装清洁组件，可维持工件的高清洁度。
POINT
集电部不产生灰尘，搬运重物 (最大200kg)
升降
AMR滚轮传送
在 AGV 和 AMR 的升降机构中使用Zip Chain传动装置有助于降低地板高度。
POINT
节省空间，低楼层
Zip Chain系列
Zip Chain传动装置
一种用途广泛的直线作动机，即使在狭小的空间内也能安装。
节省空间，可对应高速、高频率运行，与油、空压气缸相比，可大幅削减耗电量。可进行高精度多点停止，安装方向自由。
AMR升降
液压升降机、钢丝方式
停止精度低，升降机和地面之间产生台阶
杆式螺钉
难以实现长行程
链式作动机有解决方案！
POINT
- 高精度:减少换乘时的落差
- 更快:缩短节拍时间
- 高扬程:最高可达4m
Zip Chain系列
链式作动机
只需将其放置在Zip Chain上，即可高速升降悬臂式升降机
它采用“放置型”设计，只需放置即可使用，其高速、高频率和高提升力使其适用于各种用途。
盖开关机构
Lift Master用于升降设备盖。我们还可以提供一种结构，允许手动旋转支撑盖的机械臂。
POINT
安装操作简单，清洁无漏油
悬臂式升降机
Lift Master
采用滚珠丝杆/梯形螺杆悬臂式升降器，可实现高精度多级定位
“放置型”设计使得生产线布局灵活，操作简便。电气化改善了工作环境，并有助于节能。
清洁支持
可减少各部件产生的灰尘。
- 特殊表面处理（滚珠丝杆导向）
- 不锈钢护罩
- 清洁润滑脂涂抹（滚珠丝杆/导轨）
- 烤漆
滚轮垂直循环输送
在吊装设备的提升段，环形吊架之间采用Lambda链条。由于无需外部供油，因此减少了设备维护工作量，并通过抑制油溅，有助于实现清洁的工作环境。
POINT
- 减少维护工时
- 保持清洁环境
免加油传动链
Lambda链条
采用特殊含油套筒免加油链条
它采用特殊含油套筒，具有自润滑性能，免加油即可长期使用。
旋转传动
晶片研磨装置
许多应用实例表明，环面蜗杆减速机能够最大限度地减少旋转波动，从而驱动表面板旋转。此外，还使用了传动皮带、皮带轮以及用于驱动电刷的减速机。
采用点
高传输容量
紧凑
旋转不均匀性小
检查装置的反转机构
探针的反转机构采用环面蜗杆减速机。
此外，晶圆台的运动部件中还使用了电缆拖链、皮带和滑轮。
采用点
高强度&轻量・紧凑
自锁性、安静性
减速机
环面蜗杆减速机
高性能蜗轮减速机
更薄更小，传输容量更高
即使接地面积有限，它也比其他公司生产的通用蜗轮减速机具有更高的传动能力。
低振动
蜗轮蜗杆通过滑动接触传递力，其振动比其他使用螺旋伞齿轮减速机（通过滚动接触传递力）要小，从而改善了最终产品的表面光洁度。
角度传递误差 (旋转不均匀度) 小
与螺旋倒角等减速机相比，角度传动误差约为 1/10，从而使旋转更平稳，最终产品的表面光洁度也得到改善。
小型齿轮减速电机
这是一款结构紧凑、易于使用且高效的减速机。我们可以根据您的应用需求，推荐最佳的电机、轴系布置（平行轴/直交轴）和输出轴形状（实心/空心）。
Zip Chain系列
Zip Chain传动装置
中号和大号
POINT
推力MAX38.2kN
行程MAX5000mm
速度MAX1000mm/s
即使在狭小的空间内也能安装，
多功能直线作动机
高速&高频度运转、卓越的停止精度与控制性、紧凑性兼备的桥梁独自的直线发动机。
同步带和皮带轮
非常适合需要精确定位和高同步性的应用
椿同步带能够高频、高速运转，并且使用寿命长。
请与原装皮带轮配合使用，以充分发挥PX同步带的高强度、高拉伸性能。
DCBL 无刷准双曲面电机
这是一款可靠的电机，它结合了变频器驱动和伺服电机的优点。
通过内置温度传感器，实现了马达的烧毁保护。
TERUS系列
也可以将齿轮电机与蜗轮减速机结合使用。这种高功能齿轮电机兼具蜗轮的高强度和齿轮电机的高效性，从而实现更紧凑的设备结构和更少的零部件。
了解有关TERUS系列的更多信息
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支持、引导、保护
电缆支撑引导是否存在此类问题?
来自电缆拖链（包括同类运营商）
- 希望减少因磨损粉粘附而导致的产品缺陷
- 我想节省空间
- 更好地保护缆线管
从扁平电缆管
- 减少电缆软管弯曲
- 我想抑制弹跳
CLEANVEYOR和FLATVEYOR可以解决各种各样的问题。
移动舞台
FLATVEYOR用于支撑和引导舞台活动部件中的电缆。
采用装置
曝光机，粘合剂，安装器等
采用点
低扬尘、低振动、防断线
晶圆盒的转移
用于药液槽间的移载电缆的支撑导向。
支撑杆可以长行程。
采用装置
清洗装置
采用点
低粉尘产生，长行程
CLEANVEYOR
清洁度ISO等级1
在燕尾电缆、软管支撑导向装置中，发尘最低。
实现ISO等级1的清洁度，最适合在洁净室内使用。
36dB (A) 以下的低噪音与弯曲次数1000万次以上※的长寿命。*内部测试结果
低尘
将电缆、管道和支撑部件存放在舱内，可以防止磨损粉散落。
它还能有效防止因电缆滑动或相互干扰而导致的电缆断裂风险。
减少安装工时
内置专用的电缆和管子，安装夹具提供。可以顺利地安装到装置上。
多级结构对应
最多可装6层※可对应。*内部测试结果
关于CLEANVEYOR更多详情
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FLATVEYOR
清洁度ISO等级2
Tsubaki独有的自立式扁平电缆系统。
它内置独特的支撑结构，使其能够进行长行程操作。根据使用条件的不同，它配备专用电缆和导管。
低尘
为提高产品的成品率做贡献。
长行程
最大行程可对应2.8m。
(ZP规格最长1.8m)
扁平电缆 (第三方)
FLATVEYOR（椿本制造）
断线对策
最多可装6层※可对应。*内部测试结果
弹跳抑制
防止设备外围设备与电缆发生干扰。
扁平电缆 (第三方)
FLATVEYOR（椿本制造）
关于FLATVEYOR的更多信息
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FLATVEYOR ZP 规格
易于使用
- 电缆管的取放方便，可部分更换。采用弯曲性、耐久性、滑动性良好的帽檐独创的开闭软管。
- 实现了清洁度相当于ISO 2级。(根据本公司内部试验结果)
电缆拖链 塑料系列
PVDF规格
真空用途
通过使用特殊氟树脂，可有效应对真空环境下的排气。
另外，还具有优异的耐药性。
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