通过实现长行程输送，同时抑制晶圆清洗系统中的粉尘产生，可以改善工件缺陷率。
TKR型电缆拖链
课题
长行程、磨损粉和粉尘产生
行业
液晶、半导体、电子设备、通信
用途
支持/导向
产品
电缆拖链
概述
在批量式全自动晶圆清洗系统中，采用了支持长行程应用的 TKR28H52-EX电缆拖链，以适应长距离的工序间传输。
TKR型为低发尘产品，有助于改善因发尘而导致的工件不良率。
课题
在批量式全自动清洗系统中，由于电路板尺寸较大，输送距离增加，因此采用了能够处理长行程通用电缆拖链。
然而，对于通用电缆拖链，滑动部件产生的粉尘会导致磨损粉粘附在产品上，从而造成工件缺陷。
采用的产品
TKR型电缆拖链
该系列产品采用无连接结构，消除了引脚和针孔，达到了 ISO 1 级洁净度，是塑料系列开放式产品中最洁净的系列。
与通用的TKP型相比，低噪音、低发尘有助于降低环境负荷。
可对应干燥环境规格 (对应低湿度环境) 等特殊规格。
不使用欧洲RoHSII指令所限制的阈值以上的特定有害物质。(不包括要存放的缆线管)
产品采用的效果
TKR28H52-EX 采用高耐磨、高滑动的材料，消除销和销孔之间的滑动磨损，从而实现了低粉尘产生和长行程。
因此，即使在晶圆清洗过程中进行长时间的工序间转移，也可以使用单个电缆拖链进行处理，这有助于抑制粉尘的产生，并有助于提高工件的缺陷率。
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