平板显示器 (FPD) 制造设备需要具有低尘规格的气缸，以便在洁净环境中也能放心使用，因为微尘或灰尘容易附着在玻璃表面上，从而导致产品缺陷。

此外，为了提高生产率，有必要提高运行周期和耐久性，同时确保高停止精度也是一个问题。

通常情况下，灰尘和灰尘会从防尘罩的气孔泄漏并粘在玻璃表面上，但通过采用低尘防尘罩并在防尘罩安装部分安装空气管，可以防止灰尘飞散到外部。实现了即使在干净的环境下也能使用的减少灰尘。

さらに、製品特性（推力・速度・頻度）を装置仕様に合わせた特殊対応とすることで、運転サイクルを向上させ生産性の改善に貢献。加えて、カタログ品インダクションモータをサーボモータに変更することで、高精度な停止制御も実現。ガラス搬送時の停止精度を確保しました。