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晶圆输送机器人设备可实现长行程、更低的粉尘产生量和更小的振动。

电缆拖链

课题
磨损粉和粉尘的产生
行业
液晶、半导体、电子设备、通信
用途
支持/导向
产品
电缆拖链

概述

之前,通用型TKP型电缆拖链用于保护机器人横向移动部分的电缆和管道,该机器人需要移动距离当设备内部的运输距离延长时,采用了粉尘产生量更低、噪音更小、振动更小的型号,从而提高了产品产量和设备运行稳定性。


课题

随着晶圆直径增大和PLP(面板级封装)的日益普及,输送机器人的移动距离也随之增加。传统的输送设备中,电缆拖链安装在晶圆或FOUP(光纤到户单元)下方,因此通常采用通用型的TKP(隧道式机器人)型号。但为了提高产品良率,必须提升整套设备的洁净度,这就需要一种低粉尘、低振动、低噪音的电缆系统。


采用的产品

TKR型电缆拖链

采用无连接、无销钉或针孔的TKR型结构,该系列产品达到ISO 1级洁净度标准,是塑料系列开放式注塑机中最洁净的系列。与通用型TKP型相比,它噪音更低、粉尘更少,有助于降低对环境的影响。

可对应干燥环境规格 (对应低湿度环境) 等特殊规格。不使用欧洲RoHSII指令所限制的阈值以上的特定有害物质。(不包括要存放的缆线管)


产品采用的效果

通过将通用型TKP型号更换为无链节、无销钉或销孔的TKR型号,我们有效防止了电缆拖链本体产生磨损粉,从而提高了产品良率。此外,TKR型号的高静音性和低振动特性也确保了设备的稳定运行,并改善了生产环境。

弯曲段的结构设计和材料经过优化,在保持弯曲灵活性的同时,凭借其刚性实现了长行程。随着TKR28H52-EX型号的发布,即使在以往TKR型设备无法使用的长距离输送设备中,现在也能实现高洁净度等级。


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