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晶圆输送机器人设备可实现长行程、更低的粉尘产生量和更小的振动。

电缆拖链

课题
磨损粉和粉尘的产生
行业
液晶、半导体、电子设备、通信
用途
支持/导向
产品
电缆拖链

概述

之前,通用型TKP型电缆拖链用于保护机器人横向移动部分的电缆和管道,该机器人需要移动距离当设备内部的运输距离延长时,采用了粉尘产生量更低、噪音更小、振动更小的型号,从而提高了产品产量和设备运行稳定性。


课题

随着晶圆尺寸的增大和PLP(面板级封装)技术的普及,输送机器人的移动距离也随之增加。传统的输送设备中,电缆拖链安装在晶圆和FOUP(光纤封装单元)下方,因此通常采用通用型的TKP(传输式输送机)型号。然而,为了提高产品良率,必须提升设备的整体洁净度,这就需要一种具有低粉尘产生、低振动和低噪音等优异性能的电缆系统。


采用的产品

TKR型电缆拖链

ピンとピン穴を持たないリンクレス構造とすることで清浄度ISOクラス1を実現した、プラシリーズオープン形の中でもっとも清浄度が高いシリーズです。

汎用的なTKP形と比較して低騒音、低発塵により環境負荷低減に貢献します。

ドライ環境仕様(低湿度環境に対応)など特殊仕様の対応が可能です。

最大ストローク5.94mに対応するEX仕様もございます。

欧州RoHSⅡ指令で制限されている閾値以上の特定有害物質は使用していません。(収納するケーブル・チューブを除く)


产品采用的效果

通过将通用型TKP型号更换为无链节、无销钉或销孔的TKR型号,我们有效防止了电缆拖链本体产生磨损粉,从而提高了产品良率。此外,TKR型号的高静音性和低振动特性也确保了设备的稳定运行,并改善了生产环境。

弯曲段的结构设计和材料经过优化,在保持弯曲灵活性的同时,凭借其刚性实现了长行程。随着TKR28H52-EX型号的发布,即使在以往TKR型设备无法使用的长距离输送设备中,现在也能实现高洁净度等级。


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