防尘是半导体制造设备中的一个关键问题。传统上，采用的是TKR型除尘器，它是塑料系列中最洁净的开放式除尘器，但由于其工作位置在晶圆上方，因此需要进一步减少粉尘的产生。

当初、クリーン度の向上が可能なことに加えTKR形と同じようにケーブル・チューブの挿入がユーザー側で可能なフラットベヤZP仕様の採用を検討しましたが、当該装置の量産の計画もあったことからフラットベヤの採用としました。ケーブル・チューブが溶着された状態で一式納入されるモデルのため、そのまま装置に取り付けるだけとなりクリーン度の向上だけでなく装置への組み付け工数が大幅に削減できました。