实现无尘室内的协作机器人横行部的低发尘化和安全性的提高
FLATVEYOR ZP 规格
课题
磨损粉和粉尘的产生
行业
液晶、半导体、电子设备、通信
用途
支持/导向
产品
电缆拖链
概述
为了减少通用型晶圆制造设备中电缆拖链和电缆/管材产生的粉尘（这一直是晶圆制造设备的一个问题），FLATVEYOR ZP 规范采用了将电缆/管材收纳在可开启的 PVC 管中的设计。这不仅解决了以往型号的粉尘问题，还改善了生产环境并提高了产品良率。
课题
在半导体制造现场，为了提高产品的成品率，在无尘室内的制造设备中抑制滑动部分产生的灰尘成为了课题。
在现有设备中使用的传统通用电缆拖链，有时会出现因电缆拖链本体或内部电缆和管道产生的灰尘而污染晶圆等产品的问题。
采用的产品
电缆拖链FLATVEYOR ZP 规格
自持式扁平电缆系统，采用PVC管，具有独特的帽檐开合结构，具有良好的弯曲性、耐久性和滑动性。
实现清洁度ISO等级1,为成品率改善做贡献。
不使用欧洲RoHSII指令所限制的阈值以上的特定有害物质。(不包括要存放的缆线管)
产品采用的效果
与通用电缆拖链不同，我们曾考虑使用CLEANVEYOR，它可以将电缆和管材收纳在舱状薄片中。然而，考虑到电缆和管材的内容物可能会发生变化，我们最终决定采用FLATVEYOR ZP 规格，该规格允许现场重新布线。
这减少了洁净室中粉尘的产生（粉尘是造成污染的原因之一），并提高了产品良率。此外，由于FLATVEYOR ZP 规格采用柔性 PVC 管体，降低了与协作机器人移动部件附近工作人员接触的风险，从而全面改善了生产环境。
椿本将全力帮助您解决贵公司的困难。
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