应用实例:直线直线作动机- 高频运行

应用实例

半导体基板清洗装置


这是一个可以自动清洗人造基材的设备。
将装有基材的篮子在清洗液中上下摇晃,以去除表面的杂质。
为了确保清除所有杂质,千斤顶在短时间内多次伸出和缩回。
此时,千斤顶的负载持续率接近 100%。
采用适用于高频操作的电动高速丝杆。


采用要点

  • ·对应连续伸缩的高频率运行
  • ·为了确实去除污垢的高速运行