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椿本产品选择
在无尘室中使用的半导体、液晶制造&检查装置等中,比起极度讨厌产生尘粉的工件部分,更多用于上部的可动部分。另外,与工件相比,下部的可动部分也可用于存在产生尘粉飞扬问题的装置的下部。
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