清洁环境下的升降装置同时实现低尘和节省空间的自动化
为了自动打开和关闭半导体曝光设备的门，需要选择可以在不改变设备布局的情况下引入的节省空间的电动执行器。
另外，因为是洁净室内的设备，所以低发尘性也很重要。
因此，我们采用了外形低矮、结构紧凑的Zip Chain传动装置通过使用清洁润滑脂，我们降低了粉尘产生的风险，并使其能够顺利集成到现有设备中。
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| 课题 | 行业 | 用途 | 产品系列 |
|---|---|---|---|
| 节省空间 | 液晶、半导体、电子设备、通信 | 直线运动 | 直线作动机 |
课题
需要选择一种紧凑的电动执行器，该执行器具有低地板和节省空间的设计，可以在不显着改变现有设备布局的情况下直接集成到设备中。
此外，在安装半导体曝光设备的清洁环境中，异物污染导致产品缺陷和产量下降，因此必须将灰尘风险降至最低。
采用的产品
Zip Chain传动装置
互锁链（Zip Chain）是我们公司独家研发的一种链条，其中两条链像拉链一样相互连接，形成一根可以“推拉”的坚固杆。
Zip Chain传动装置是一种采用这种机制的全新直线作动机。
Zip Chain可以收纳在紧凑的盒子里，与传统的直线作动机相比，可实现巨大的空间节省。
支持高速、高频率运行，与油压、空压气缸相比，可大幅削减耗电量。
可高精度地进行多点停止，安装方向也自由。
产品采用的效果
通过使用Zip Chain传动装置，无需改变设备布局即可实现自动化，从而以最小的设计工作量实现快速自动化。
通过1000mm/s的高速运行，为提高生产效率、提高现场作业效率做出了贡献。
此外，通过采用清洁润滑脂，灰尘风险也大大降低。
即使在清洁环境下也能稳定运行，有助于保持产品质量。
椿本将全力帮助您解决贵公司的困难。
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