クリーン環境下の昇降装置で低発塵と省スペース自動化を同時に実現
半導体露光装置の扉の開閉を自動化させるにあたり、装置レイアウトを変更せずに導入できる省スペースな電動アクチュエータの選定が求められていました。
また、クリーンルーム内の設備であるため低発塵性も重要でした。
そこで、低床・コンパクトな設計のジップチェーンアクチュエータを採用。クリーングリスを採用することで発塵リスクを抑制しつつ、既存設備へのスムーズな組み込みを実現しました。
| 课题 | 行业 | 用途 | 产品系列 |
|---|---|---|---|
| 节省空间 | 液晶、半导体、电子设备、通信 | 直线运动 | 直线作动机 |
课题
既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。
さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。
采用的产品
Zip Chain传动装置
互锁链（Zip Chain）是我们公司独家研发的一种链条，其中两条链像拉链一样相互连接，形成一根可以“推拉”的坚固杆。
Zip Chain传动装置是一种采用这种机制的全新直线作动机。
Zip Chain可以收纳在紧凑的盒子里，与传统的直线作动机相比，可实现巨大的空间节省。
支持高速、高频率运行，与油压、空压气缸相比，可大幅削减耗电量。
可高精度地进行多点停止，安装方向也自由。
产品采用的效果
ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。
1000㎜/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。
また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。
クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。
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