リフタの昇降治具形状の特形対応で設備の省スペース化を実現

ウエハを加熱するヒーターをメンテナンスする際、チャンバー内から上昇させて反対側に持ってくる必要があります。

出来るだけスペースを取らず昇降、旋回の動作ができる機構としてリフトマスタを採用しました。

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节省空间	液晶、半导体、电子设备、通信	直线运动	高速升降机

课题

限られたスペースで昇降と旋回2つの動作が可能な機構が必要でした。

リフトマスタ　

リフトマスタはオーバーハング・横荷重を許容できる置きポン形の片持式リフタです。

組立不要で床にそのまま据付、アームを取付けるだけでモータに電源を接続すればすぐにご使用いただけます。

片持ち負荷(オーバハング荷重)を支えるために高剛性のフレーム内にネジ軸とガイドをコンパクトに内蔵しています。

当初の希望通り、余計な追加スペースを確保することなく、昇降機構を実現することが出来ました。

リフトマスタの架台自体を旋回できる特形モデルの提案もありましたが、最終的にリフトマスタに取り付ける治具を旋回可能な構造とすることでカタログ標準モデルのリフトマスタを採用。

ボールネジとガイド、フレームが一体となったシンプルな構造で、選定、設置も楽にできました。

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